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6月27日，德国媒体Elektroniknet发布了一篇交流 Wolfspeed联合创始人 John Palmour博士的文章。

报道称，John Palmour从一开始就致力于 碳化硅二极管和MOSFET 的开发，作为Wolfspeed的CTO，他认为 平面栅SiC MOSFET 的技术优势远未耗尽。

John Palmour（左）

问： Wolfspeed于 4 月下旬在莫霍克山谷开设了新的 8英寸 设施，一个8英寸的晶圆上有多少颗SiC MOSFET？

John Palmour： 这么说吧，晶圆面积要大得多！面积多出 80%到85% 。但更重要的是，更大晶圆能够将SiC MOSFET的制造成本降低多达30%。

问： 一个假设性的问题：我们会在10年、15年内看到在 12英寸 晶圆上制造SiC MOSFET的转变吗？

John Palmour： 我认为这主要取决于届时SiC MOSFET 的市场规模。如果 需求 足够大，12英寸晶圆的生产也可能是有利可图的。转向12英寸晶圆，我预计不会有任何重大的技术限制。晶体生长将是时间和金钱的问题。对于设备制造，硅为生产12英寸晶圆的工艺和处理铺平了道路。同样，我认为如果需求情况合适，在 10到15年 的时间范围内切换到12英寸晶圆可能有助于 SiC MOSFET 的生产。

问： 对于当前机器和系统制造商向8英寸晶圆的转换，您有什么经验？目前有多少家生产8英寸SiC的设备制造商？

John Palmour： 我们大约与 6家 设备制造商进行合作。一些企业专门为我们的工艺开发了特殊机器。我想强调的是，我们拥有 高度自动化 的生产。起初，我们计划逐步为新工厂配备8英寸机器。然而，我们很快就放弃了这一策略，我们为自己能够在如此短的时间内实现高度自动化而感到自豪。鉴于设备的交货时间较长，我们预计工厂最早将在 2024年 达到 全部生产 能力，并且我们正在迅速采购工具以在未来几年内为工厂提供充足的产能。

问： 关于工艺技术的问题：贵公司如今的 SiC 晶圆有多厚？

John Palmour： 我们开始时8英寸晶圆的厚度为 500微米 ， 6英寸晶圆为 350微米 。这绝对是安全的，还有多种方法可以使晶片更薄。作为全球最大的碳化硅制造商，从晶锭到成品的整个增值过程都在内部进行，我们当然也在考虑这样的解决方案。

问： 目前，一些SiC MOSFET制造商正在生产他们的 第四代 。尽管如此，SiC肯定仍处于优化曲线的起点，您认为还存在哪些可以进一步优化的地方？

John Palmour： 如果看第四代的导通电阻，我们距离理论值还有 10倍 的差距。如果对比我们11年前的第一款SiC MOSFET和我们目前的第四代产品，芯片尺寸缩小了 62.5% 。

问： 在过去的几年里，有很多人说你们也会开发 沟槽栅SiC MOSFET ，什么时候上市？

John Palmour： 我们先看看市场的格局。市场上最大的2家供应商 Wolfspeed和意法半导体 都是提供平面SiC MOSFET，因为它们有更好的导通电阻，这是关键性能指标。只要我们在导通电阻方面远远领先沟槽SiC MOSFET，我认为没有理由改变这一点。何况我们还将继续改进平面SiC MOSFET。客户不应该关心它是平面MOSFET还是沟槽MOSFET，重要的是 特定导通电阻 。事实上，我们也不在乎哪种技术路线，我们只关注哪种设计能给客户带来最大的利益。

问： 在过去的几十年里，太空旅行一直是一个利基市场，现在有许多私营公司进入太空市场。SiC MOSFET是否已经在 太空 中使用了？你们提供这样的产品吗？

John Palmour： 我们的 第一批产品 已经在太空中使用了六七年。这些是我们为特定空间项目开发和实施的特殊解决方案。但是，我们还没有决定是否将太空级零件作为一项业务来经营。

问： 多年来，中国一直在大力投资碳化硅技术。您预计中国供应商何时会推出 650V或1200V SiC MOSFET？

John Palmour： 中国已经在这方面制定了自己的 战略目标 。他们目前提供SiC二极管，最近已经开始提供SiC MOSFET。到目前为止，中国制造商主要使用 4英寸 晶圆，有几家公司正致力于建设生产SiC MOSFET的 垂直集成设施 。

问： 迄今为止，只有 X-Fab 提供碳化硅代工服务。您认为SiC领域的 代工模式 是否可持续？

John Palmour： 我认为代工理念非常适合硅CMOS领域，业界已经建立了完善的制造工艺，代工客户可通过电路设计来区分他们的产品。

但是，在功率器件市场中，工艺就是产品，因此很难通过代工厂来区分各自的产品。正因如此，在功率器件市场上，各大公司都在做自己的产品。在功率领域，无论是硅还是碳化硅功率设备，代工厂的使用都非常少。

问： 最后，我想问一下关于自Gregg Lowe担任CEO以来，Wolfspeed的演变。您如何评价他推动的变革？

John Palmour： 极好的！当我们创立 Cree 时，我们有六个人。除了我之外，其中一位联合创始人今天仍在公司工作。从我的角度来看，Gregg Lowe完全实现了我一直希望的结果。SiC 走出Cree的阴影，获得更多重视和关注。